Результаты работы в рамках проектной части Государственного задания в сфере научной деятельности № 3.1846.2014/K

  1. Разработана технология нанесения сверхпроводящих плёнок NbN толщиной 4 нм на подложки из оптически нелинейных материалов Si3N4 и LiNbO3. Плёнки наносятся методом магнетронного распыления на постоянном токе из Nb мишени в атмосфере азота и аргона.

  2. Измерены характеристики полученных сверхпроводящих плёнок на оптически нелинейных подложках. В частности, критические температуры изготовленных пленок превышают 10 К; критические плотности тока при температуре 4,2 К составили не менее 5×1010 А/м2.

  3. Выполнено моделирование оптимальных параметров волноводов из Si3N4 и LiNO3.